@misc{Doll2008,
  author    = {Frank Doll},
  title     = {Abscheidung und Charakterisierung von wasserstoffhaltigem Siliciumnitrid mittels reaktivem Sputtern},
  institution = {Physikalische Technik, Informatik},
  type      = {diplom},
  pages     = {55 Seiten, 41 Abb., 2 Tab., 33 Lit.},
  year        = {2008},
}