TY - GEN A1 - Voit, Andreas T1 - Fertigstellung und Qualifizierung eines Hall - Messplatzes am Beispiel von transparenten leitfähigen Schichten T1 - Completion and Qualification of a Hall - Measurement - System using the example of transparent conductive oxides N2 - Ziel der vorliegenden Arbeit war die Fertigstellung eines Hall KW - Hall-Effekt KW - Transparent-leitendes Oxid KW - Sputtern KW - Reaktives Sputtern KW - IEEE-488 KW - Ladungsträgerbeweglichkeit KW - n-Halbleiter KW - p-Halbleiter KW - Ladungsträgeranzahldichte KW - Ladungsträgerdichte KW - Hall-Koeffizient KW - Vier-Spitzen-Messplatz KW - van-der-Pauw-Technik Y1 - 2009 UR - https://libdoc.fh-zwickau.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/4893 ER -