@misc{Kaspar2009,
  author    = {Tim Kaspar},
  title     = {Herstellung und Charakterisierung aluminiumbasierter Isolationsschichten},
  institution = {Physikalische Technik, Informatik},
  type      = {diplom},
  pages     = {96 Seiten, 45 Abb., 24 Tab., 35 Lit.},
  year        = {2009},
}