TY  - GEN
A1  - Kaspar, Tim
T1  - Herstellung und Charakterisierung aluminiumbasierter Isolationsschichten
N2  - Es erfolgte eine Untersuchung der Möglichkeit der Abscheidung von aluminiumbasierten Schichten an einer B- 30 Beschichtungsanlage. Die Abscheidung der Schichten erfolgte mittels Reaktiver Kathodenzerstäubung. Arbeitsgas war hierbei Argon. Als Reaktivgas fungierte Stickstoff. Nach erfolgreicher Schichtabscheidung (AlN) erfolgte eine Charakterisierung der so erzeugten Schichten. Untersucht wurden diese mittels REM, EDX- und XPS- Analyse.
KW  - Kathodenzerstäubung
KW  - AlN
KW  - Charakterisierung
KW  - DC- Entladung
Y1  - 2009
UR  - https://libdoc.fh-zwickau.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/4902
ER  -