@misc{Lachmann2009,
  author    = {Johannes Lachmann},
  title     = {Verbesserung der Messmittelf{\"a}higkeit eines Raster-Elektronen-Mikroskops zur Bestimmung von Strukturbreiten unter Verwendung einer statistischen Versuchsplanung und der Auswertung mittels ANOVA},
  institution = {Physikalische Technik, Informatik},
  type      = {diplom},
  pages     = {68 Seiten, 36 Abb., - Tab., 38 Lit.},
  year        = {2009},
}