@misc{Degenkolb2012, author = {Anna Degenkolb}, title = {Untersuchungen von Wafer-S{\"a}geprozessen zur Verringerung von Front- und R{\"u}ckseitensuabr{\"u}chen}, institution = {Elektrotechnik}, type = {bachelorthesis}, pages = {48 Seiten, 39 Abb., 8 Tab., 43 Lit.}, year = {2012}, }