@misc{Bergmann2018, author = {Patrick Bergmann}, title = {Untersuchung anwendungsspezifischer dichtekorrelierender Eigenschaften von reaktiv gesputterten SiO2-Schichten}, institution = {Physikalische Technik, Informatik}, type = {bachelorthesis}, pages = {46 Seiten, 26 Abb., 2 Tab., 17 Lit.}, year = {2018}, }