@misc{Kabardiadi2018,
  author    = {Alexander Kabardiadi},
  title     = {Theoretische und experimentelle Untersuchung zur Wellenfrontanalyse im Lithographieprozess},
  institution = {Physikalische Technik, Informatik},
  type      = {bachelorthesis},
  pages     = {38 Seiten, 35 Abb., - Tab., 21 Lit.},
  year        = {2018},
}