TY  - THES
A1  - Kabardiadi, Alexander
T1  - Theoretische und experimentelle Untersuchung zur Wellenfrontanalyse im Lithographieprozess
T1  - Theoretical and experimental investigations of the wavefront analysis for lithographic applications
N2  - Die theoretische und praktische Untersuchung zur Wellenfronanalyse im Lithographiprozess. Es wurde ein Aberrationsmessverfahren bezüglich technischen Gegebenheiten der Belichtungsanlage analysiert und modifiziert. Anhand dieser Analyse und Modifikation wurde ein entsprechendes Messverfahren ausgearbeitet und analytisch ausgewertet.
KW  - Wellenfront
KW  - Messsystem
KW  - Lithographie
KW  - Wellenfron
KW  - optisches Messystem
KW  - Lithographie-Belichtungsanlage
Y1  - 2018
UR  - https://libdoc.fh-zwickau.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/10070
ER  -