@misc{Muenzberger2018,
  author    = {Sven M{\"u}nzberger},
  title     = {Optimierung der Polierzeitberechnung f{\"u}r Oxid Prozesse beim Chemisch-Mechanischen Polieren in Run-to-Run Systemen},
  institution = {Physikalische Technik, Informatik},
  type      = {diplom},
  pages     = {56 Seiten, 57 Abb., 2 Tab., 20 Lit.},
  year        = {2018},
}