@misc{Schulze2018,
  author    = {Frank Michael Schulze},
  title     = {Entwicklung von Siliziumnitridschichten f{\"u}r MEMS-Applikationen},
  institution = {Physikalische Technik, Informatik},
  type      = {bachelorthesis},
  pages     = {74 Seiten, 28 Abb., 20 Tab., 47 Lit.},
  year        = {2018},
}