@mastersthesis{Wislicenus2018,
  author      = {Marcus Wislicenus},
  title       = {Optimierung eines Kobalt-MOCVD-Prozesses zur Herstellung von Kupferdiffusionsbarrieren},
  type        = {masterthesis},
  pages       = {102 Seiten, 39 Abb., 6 Tab., 84 Lit.},
  school      = {Wests{\"a}chsische Hochschule Zwickau},
  year        = {2018},
}