@misc{Hertel2018, author = {Silvia Hertel}, title = {Prozessevaluierung zur galvanischen Abscheidung nano skalierter Mehrschichtsysteme}, institution = {Physikalische Technik, Informatik}, type = {bachelorthesis}, pages = {43 Seiten, 27 Abb., 4 Tab., 16 Lit.}, year = {2018}, }