TY - THES A1 - Hertel, Silvia T1 - Prozessevaluierung zur galvanischen Abscheidung nano skalierter Mehrschichtsysteme T1 - process evaluation for electrodeposition of nanoscale multilayer systems N2 - Ziel der vorliegenden Arbeit ist die elektrochemische Erzeugung von reaktiven Mehrschichtsystemen (RMS) aus der Einbadtechnik basierend auf dem System Palladium/Zinn. Durch die Charakterisierung der Elektrolyte mittels Stromdichte- Potential- Kurven (SPK) konnte gezeigt werden, dass Parameter wie z.B. Homogenisierungsdauer und Umwälzung Einfluss auf die Stabilität des Elektrolyten haben. Des Weiteren wurde nachgewiesen, dass die Rührgeschwindigkeit des Elektrolyten bei der Abscheidung einen wesentlichen Einfluss auf die Schichtzusammensetzung hat. Legierungsschichten unterschiedlicher Zusammensetzung konnten durch das Variieren des Potentials und der Konvektion hergestellt werden. Im Rahmen dieser Arbeit konnte keine Stapelung der einzelnen Schichten erfolgreich durchgeführt werden. Für die Herstellung von Mehrschichtsystemen sind daher noch weitere Untersuchungen notwendig. N2 - The aim of the present work is the electrochemical production of reactive mulitlayer systems (RMS) based on the system palladium/ tin. The layer deposition is realized by a single bath process. The electrolytes are characterized by current density- potential- curves. It has been demonstrated that parameters like homogenization time and circulation have an effect on the stability of the electrolyte. Alloy deposits having different compositions are produced by varying the potential and convection. Within this thesis, the production of RMS could not be carried out successfully. For the production of multilayer systems further investigations are necessary. KW - Galvanische Abscheidung KW - Einbadtechnik KW - reaktives Bonden KW - zyklische Voltametrie KW - Pulse- Plating Y1 - 2018 UR - https://libdoc.fh-zwickau.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/10212 ER -