TY  - THES
A1  - Tautenhahn, Nancy
T1  - Erarbeitung eines Messverfahrens zur Bestimmung von mechanischen Spannungen stark gekrümmter Schichten
T1  - Development of a measuring method for the determination of mechanical stresses of strongly curved layers
N2  - In der vorliegenden Arbeit ist ein Messplatz zur Eigenspannungsbestimmung gekrümmter Dünnschichten erstellt worden. Es wurden nichtinvasive Messmethoden zur Eigenspannungsbestimmung gesammelt und auf Tauglichkeit für die gewünschten amorphen oder teilkristallinen Dünnschichtproben analysiert. Dünnschichten wurden mittels der Bogen -Plasma erweiterten chemischen Gasphasenabscheidung (arcPECVD) beschichtet und bezüglich der Eigenspannungen charakterisiert. Druckspannungen sind festgestellt worden.
N2  - In this thesis, a measuring station has been developed for the determination of residual stresses of curved thin films. Non-invasive measurement methods for residual stress determination were collected and analyzed for suitability for the desired amorphous or semicrystalline thin film samples. Thin films were coated by arc plasma enhanced chemical vapor deposition (arcPECVD) and characterized in terms of residual stresses. Compressive stresses have been established.
KW  - Messverfahren
KW  - mechanische Spannungen
KW  - stark gekrümmte Schichten
KW  - Nanotechnologie
KW  - Measuring methods
KW  - mechanical stresses
KW  - strongly curved layers
KW  - nanotechnology
Y1  - 2017
UR  - https://libdoc.fh-zwickau.de/opus4/frontdoor/index/index/docId/10776
ER  -