@misc{Birtel2019,
  author    = {Peter Birtel},
  title     = {Untersuchung der optischen und elektrischen Eigenschaften von großfl{\"a}chig mittels Magnetronsputtern vom keramischen Rohrtarget abgeschiedenen ITO-Schichten},
  institution = {Physikalische Technik, Informatik},
  type      = {bachelorthesis},
  pages     = {69 Seiten, 38 Abb., 12 Tab., 44 Lit.},
  year        = {2019},
}