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Untersuchungen zur Abscheidung von a-Si:H - Schichten mit einer Anregungsfrequenz von 4 MHz

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Metadaten
Author:David Haase
Document Type:Master's Thesis
Language:German
Date of Publication (online):2021/08/20
Year of first Publication:2021
Publishing Institution:Westsächsische Hochschule Zwickau
Page Number:167
Note:
Volltext gesperrt
Faculty:Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik
Release Date:2021/12/03