Untersuchungen zur Abscheidung von a-Si:H - Schichten mit einer Anregungsfrequenz von 4 MHz
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Author: | David Haase |
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Document Type: | Master's Thesis |
Language: | German |
Date of Publication (online): | 2021/08/20 |
Year of first Publication: | 2021 |
Publishing Institution: | Westsächsische Hochschule Zwickau |
Page Number: | 167 |
Note: | Volltext gesperrt |
Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
Release Date: | 2021/12/03 |