Entwicklung einer neuen ICP-Quelle zur homogenen Bearbeitung von großflächigen Substraten
- Dimensionierung, Aufbau, Inbetriebnahme und Sondenmessungen an einer ICP-Quelle mit Ferriten
| Author: | Daniel Zimmer |
|---|---|
| Title Additional (German): | Entwicklung einer neuen ICP-Quelle zur homogenen Bearbeitung von großflächigen Substraten |
| Advisor: | D. Rost, Gunter Krautheim |
| Document Type: | Diploma Thesis |
| Language: | German |
| Name: | Roth & Rau AG Gewerbering 3, 09337 Hohenstein-Ernstthal |
| Date of Publication (online): | 2009/11/19 |
| Year of first Publication: | 2009 |
| Date of final exam: | 2009/08/26 |
| Page Number: | 54 Seiten, 22 Abb., 6 Tab., 36 Lit. |
| Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
| Release Date: | 2009/11/19 |
