Teilcheneinfall und Schichtwachstum beim Hochratesputtern.
Author: | Andreas Neidhardt |
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Document Type: | Doctoral Thesis |
Language: | German |
Year of first Publication: | 1990 |
Granting Institution: | Technische Hochschule Zwickau |
Tag: | Dissertation |
Page Number: | VIII, 115 S.: Abb., Anh. |
Note: | Signatur 1: Q 2942 |
Note: | Anzahl Exemplare: 2 |
Faculty: | Technische Hochschule Zwickau |
Release Date: | 2018/12/19 |