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Dispersion-Controlled Low-Coherent Interferometry for Thin-Film Characterization
- Es wird ein neuartiges, interferometrisches Verfahren zur Analyse dünner Filme beschrieben.
Author: | Marco Preuß |
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Advisor: | Peter HartmannGND, Bryan Nelsen |
Document Type: | Master's Thesis |
Language: | English |
Name: | Leupold-Institut für Angewandte Naturwissenschaften Peter-Breuer-Straße 2, 08056 Zwickau |
Date of Publication (online): | 2018/02/22 |
Year of first Publication: | 2018 |
Publishing Institution: | Westsächsische Hochschule Zwickau |
Date of final exam: | 2018/02/22 |
Tag: | dispersions-kontolliert Thin-film characterization |
GND Keyword: | Interferometrie; Dünne Filme |
Page Number: | 54 Seiten, 34 Abb., 3 Tab., 80 Lit. |
Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
Release Date: | 2019/02/14 |