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Dispersion-Controlled Low-Coherent Interferometry for Thin-Film Characterization

  • Es wird ein neuartiges, interferometrisches Verfahren zur Analyse dünner Filme beschrieben.

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Metadaten
Author:Marco Preuß
Advisor:Peter Hartmann, Bryan Nelsen
Document Type:Master's Thesis
Language:English
Name:Leupold-Institut für Angewandte Naturwissenschaften
Peter-Breuer-Straße 2, 08056 Zwickau
Date of Publication (online):2018/02/22
Year of first Publication:2018
Publishing Institution:Westsächsische Hochschule Zwickau
Date of final exam:2018/02/22
Release Date:2019/02/14
Tag:dispersions-kontolliert
Thin-film characterization
GND Keyword:Dünne Filme; Interferometrie
Page Number:54 Seiten, 34 Abb., 3 Tab., 80 Lit.
Faculty:Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik