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Charakterisierung der elektrischen Eigenschaften von Indium-Zinn-Oxid-Schichten auf Heterojunction-Solarzellen

Characterization of the Electrical Properties of Indium-Tin-Oxide Layers on Heterojunction Solar Cells

  • Für die Charakterisierung von Indium-Zinn-Oxid-Schichten in der industriellen Produktion von Heterojunction-Solarzellen wird eine Messprozedur benötigt, die den Anforderungen einer solchen Produktion gewachsen ist. Zum einen ist es notwendig, dass die Genauigkeit und Präzision der verwendeten Messsysteme besser ist, als die Prozessstreuung der Abscheideprozesse. Nur so ist es möglich den Prozess zu kontrollieren. Hierfür werden in der Masterarbeit die Messsysteme mit Hilfe einer Messsystemanalyse untersucht. Zum anderen ist es notwendig, den Eingriff in den Herstellungsprozess so gering wie möglich zu halten. Hierfür werden in der Masterarbeit alternative Messmethoden zur Charakterisierung der elektrischen Eigenschaften der Indium-Zinn-Oxid-Schichten evaluiert. Als Ergebnis der Masterarbeit wird eine Messprozedur dargelegt, die für die Charakterisierung der elektrischen Eigenschaften von Indium-Zinn-Oxid-Schichten in der industriellen Produktion von Heterojunction-Solarzellen geeignet ist.
  • The characterization of Indium-Tin-Oxide-Layers in the industrial production of heterojunction solar cells requires a measurement procedure which can meet the needs of such a production. On the one hand side it is necessary that the accuracy and precision of the used measuring equipment is better than the process variation of deposition. Only in this way it is possible to monitor the process. For this purpose, in the master's thesis the measuring equipment is tested by means of a measurement system analysis. On the other hand side, it is necessary to keep the human intervention in the manufacturing process as small as possible. For this alternative measurement methods will be evaluated for the characterization in the master's thesis. As a result of the master's thesis a measurement procedure is set out that is suitable for the characterization of Indium-Tin-Oxide- Layers in the industrial production of heterojunction solar cells.

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Metadaten
Author:Sebastian Burkhardt
Advisor:Jürgen Grimm, Andreas Waltinger
Document Type:Master's Thesis
Language:German
Name:Meyer Burger (Germany) AG
An der Baumschule 6-8, 09337 Hohenstein-Ernstthal
Date of Publication (online):2018/02/22
Year of first Publication:2015
Publishing Institution:Westsächsische Hochschule Zwickau
Date of final exam:2015/10/02
Release Date:2018/02/22
Tag:Heterojunction; MSA; Messsystemanalyse; PVD; Solarzelle
Page Number:55 Seiten, 46 Abb., 8 Tab., 21 Lit.
Faculty:Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik