Erarbeitung eines Messverfahrens zur Bestimmung von mechanischen Spannungen stark gekrümmter Schichten
Development of a measuring method for the determination of mechanical stresses of strongly curved layers
- In der vorliegenden Arbeit ist ein Messplatz zur Eigenspannungsbestimmung gekrümmter Dünnschichten erstellt worden. Es wurden nichtinvasive Messmethoden zur Eigenspannungsbestimmung gesammelt und auf Tauglichkeit für die gewünschten amorphen oder teilkristallinen Dünnschichtproben analysiert. Dünnschichten wurden mittels der Bogen -Plasma erweiterten chemischen Gasphasenabscheidung (arcPECVD) beschichtet und bezüglich der Eigenspannungen charakterisiert. Druckspannungen sind festgestellt worden.
- In this thesis, a measuring station has been developed for the determination of residual stresses of curved thin films. Non-invasive measurement methods for residual stress determination were collected and analyzed for suitability for the desired amorphous or semicrystalline thin film samples. Thin films were coated by arc plasma enhanced chemical vapor deposition (arcPECVD) and characterized in terms of residual stresses. Compressive stresses have been established.
Author: | Nancy Tautenhahn |
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Advisor: | Christel Reinhold, Michiel Top |
Document Type: | Master's Thesis |
Language: | German |
Name: | Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik Winterbergstraße 28, 01277 Dresden |
Date of Publication (online): | 2017/10/04 |
Year of first Publication: | 2017 |
Publishing Institution: | Westsächsische Hochschule Zwickau |
Date of final exam: | 2017/10/04 |
Tag: | Messverfahren; Nanotechnologie; mechanische Spannungen; stark gekrümmte Schichten Measuring methods; mechanical stresses; nanotechnology; strongly curved layers |
Page Number: | 64 Seiten, 37 Abb., - Tab., 45 Lit. |
Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
Release Date: | 2019/10/30 |