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Beitrag zum Aufbau eines in situ Echtzeit - Laserpartikelzählers für Aerosole

Contribution to an in situ realtime laser particle counter for aerosols

  • Die vorliegende Bachelorarbeit leistet einen Beitrag zum Aufbau eines in situ arbeitenden Laserpartikelzählers mit Echtzeitmessung für Ionenimplanter. Es werden unterschiedliche Komponenten, wie z.B. Lichtdetektoren, untersucht und diese zu einem Partikelzählmessplatz, der in atmosphärischer Umgebung betrieben wird, kombiniert. Das Funktionsprinzip des Messplatzes und das Auftreten von Partikelsignalen in Koinzidenz werden gezeigt. Es werden Möglichkeiten zur Verknüpfung der beiden Detektorausgangssignale vorgestellt und die Auswirkungen bei Koinzidenzverletzung untersucht. Ein weiterer Bestandteil ist die Automatisierung der Partikelerkennung. Dazu wird ein Auswertealgorithmus vorgestellt, der Partikel zählt und nach Höhe und Breite klassiert. Unter dessen Verwendung werden Einflüsse wie Samplerate der Messwerterfassung und Ausrichtung der Polarisationsebene der Laserstrahlung zu den Detektoren auf die Effizienz der Partikelzählung untersucht. Zum Abschluss werden Messabweichungen infolge der Messwerterfassung diskutiert.
  • This bachelor thesis makes a contribution to the construction of an in situ laser particle counter with real time detection for ion implanters. Different components like light detectors are examined and combined to an atmospheric particle counter measuring unit. The function principle and the appearance of particle signals in coincidence are shown. Combination possibilities of the two detector channels are suggested and effects of coincidence failures are investigated. Another feature is the automation of particle counting. An algorithm for counting and classification according to height and breadth of the peaks is presented. Effects of sample rate and direction of the polarization plane to the counting efficiency is considered. Finally, mea-surement errors of digital measuring are discussed.

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Metadaten
Author:Toni Hache
Advisor:Peter Hartmann, Tobias Baselt
Document Type:Bachelor Thesis
Language:German
Name:Westsächsische Hochschule Zwickau, Arbeitsgruppe Optische Technologien
Dr.-Friedrichs-Ring 2A, 08056 Zwickau
Date of Publication (online):2018/02/22
Year of first Publication:2015
Publishing Institution:Westsächsische Hochschule Zwickau
Date of final exam:2015/03/02
Release Date:2018/02/22
Tag:Echtzeit; in situ
laser particle counter
GND Keyword:Laser; Partikel; Sensor
Page Number:48 Seiten, 37 Abb., 7 Tab., 16 Lit.
Faculty:Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik