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Flammengestützte Abscheidung verschiedener Schichtsysteme und Optimierung des r-CCVD Prinzips

Flame-assisted deposition of various layer systems and optimizing of the r-CCVD technique

  • Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit der flammengestützen Abscheidung verschiedener Schichtsysteme unter der Zuhilfenahme des remote Combustion Chemical Vapor Deposition Verfahrens. Zahlreiche und hydrolytisch umsetzbare Precursoren konnten recherchiert werden. Unter verschiedenen Bedingungen erfolgte eine Auswahl an bestimmten Precurso-ren zur Erprobung. Titandioxid- (mittels Titantetraisopropoxid und Titanethoxid), Siliziumdi-oxid- (Hexamethyldisiloxan und Triethoxyorthosilikat), Aminosilan- (3-Aminopropyltriethoxysilan) und Aminotitanatschichten (Isopropyl tri(N-ethylene diamino)ethyl titanat) wurden erzeugt und ihre Schichteigenschaften mit unterschiedlichen instrumentellen Anlagen charakterisiert. Zu den Charakterisierungsmöglichkeiten gehörten ein Profilometer zur Schichtdickenbestimmung, Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS) und energie-dispersive Röntgenspektroskopie (EDX) zur Elementanalyse sowie ein Röntgendiffraktome-ter mit streifendem Einfall (GIXRD) zur Zusammensetzungsbestimmung. Weiterhin erfolgten Rasterelektronen- (REM), Raster-Kraft-Mikroskopie (AFM) und Grauwertmessungen zur Bestimmung der Oberflächenbeschaffenheit. Die Anlagenoptimierung erfolgte hinsichtlich Abscheiderate durch die Erprobung unternehmensentwickelter Verdampfereinheiten und hin-sichtlich des Prozessparameters Temperatur der Precursorsprühleiste.
  • This thesis investigates the flame-assisted deposition of various layer systems with the help of the remote Combustion Chemical Vapor Deposition technique. Numerous, hydrolytic real-izable precursors were researched. Under various conditions some of these precursors were tested. To produce titaniumdioxide, silicondioxid and aminogroups layers on floatglas sub-strates titaniumtetraisopropoxide, titaniumethoxide, hexamethyldisiloxane, 3-aminopropyltriethoxysilane and isopropyl tri(n-ethylene diamino)ethyl titanate were used. Structure properties were characterized using analytical tools, including profilometer, x-ray photoelectron spectroscopy (XPS), energy dispersive x-ray spectroscopy (EDX), grazing incidence x-ray diffraction (GIXRD), scanning electron microscopy (SEM), atomic force mi-croscopy (AFM) and grey scale value measurement. Deposition rate and temperature of pre-cursor spray ledge were optimized.

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Metadaten
Author:Björn Kretzschmar
Advisor:Hans-Dieter Schnabel, Ronny Köcher
Document Type:Master's Thesis
Language:German
Name:Innovent e.V. Technologieentwicklung Jena
Prüssingstraße 27B, 07745 Jena
Date of Publication (online):2018/02/22
Year of first Publication:2015
Publishing Institution:Westsächsische Hochschule Zwickau
Date of final exam:2015/10/30
Release Date:2018/02/22
Tag:Amino-Funktionalisierung; Siliziumoxid; Verdampfereinheit
GND Keyword:CVD-Verfahren; Titandioxid; Verbrennung
Page Number:62 Seiten, 31 Abb., 11 Tab., 128 Lit.
Faculty:Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik