Untersuchung der optischen und elektrischen Eigenschaften von großflächig mittels Magnetronsputtern vom keramischen Rohrtarget abgeschiedenen ITO-Schichten
Study of the optical and electrical properties of ITO layers deposited over large areas by magnetron sputtering from the ceramic rotating cylindrical target
- Indiumzinnoxid ist ein transparentes und elektrisch leitfähiges Metalloxid. Es findet Anwendung in Architekturgläsern oder als transparente Elektrode in Flachbildschirmen und Solarzellen. Die dafür nötigen Dünnschichten können zum Beispiel durch Sputtern hergestellt werden. Aufgrund des hohen Gehaltes des seltenen Elementes Indium ist das Beschichtungsmaterial teuer und eine ökonomische Nutzung geboten. Im Vergleich zum DC Magnetronsputtern von der planaren Kathode, steigt durch den Einsatz einer Rohrkathode die Targetausnutzung. Im Rahmen der vorliegenden Arbeit werden klein- und großflächige Indiumzinnoxidschichten mittels Magnetronsputtern vom keramischen Rohrtarget hergestellt. Die elektrischen und optischen Schichteigenschaften werden mit denen vom keramischen planaren Target verglichen.
- Indium tin oxide is a transparent and electrically conductive metal oxide. It is used in architectural glasses or as a transparent electrode in flat screens and solar cells. The thin films required for this can be produced by sputtering, for instance. Due to the high content of the rare element indium, the coating material is expensive and economical to use. Compared to the DC magnetron sputtering of a planar cathode, the use of a rotating cylindrical cathode increases the target utilization. Within the present work small and large area indium tin oxide layers are produced by magnetron sputtering from the ceramic rotating cylindrical target. The electrical and optical layer properties are compared with those of the ceramic planar target.
Author: | Peter Birtel |
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Advisor: | Stefan BraunGND, Manuela Junghähnel |
Document Type: | Bachelor Thesis |
Language: | German |
Name: | Fraunhofer Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik Winterbergstraße 28, 01277 Dresden |
Date of Publication (online): | 2019/02/22 |
Year of first Publication: | 2019 |
Publishing Institution: | Westsächsische Hochschule Zwickau |
Tag: | Dünne Schicht; ITO; Indium; Magnetron; Vakuum |
Page Number: | 69 Seiten, 38 Abb., 12 Tab., 44 Lit. |
Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
Release Date: | 2019/03/19 |