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Untersuchung der Einflussfaktoren auf die Stabilität der plasmaaktivierten Verdampfung von Aluminium in top-down-Anordnung zur Abscheidung von Korrosionsschutzschichten

Examination of the factors influencing the stability of the plasma-activated evaporation of aluminum in top-down arrangement for the deposition of anticorrosive coatings

  • Die vorliegende Masterarbeit beschäftigt sich mit dem Verfahren der thermischen Hochrateverdampfung zur Abscheidung von aluminiumbasierten Schichten auf Kleinteilen, die als Schüttgut behandelt werden. Realisiert wird dies mit der am Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (FEP) entwickelten Versuchsanlage ALMA 1000. Die Anlage vereint zwei physikalische Dampfabscheidungs-prozesse (engl.: physical vapor deposition
  • The present study deals with a process of high rate thermal evaporation for the deposition of aluminum layers on small parts in a drum. The aim of the present study is a stable evaporation process for a reproducible of the corrosion protection coatings. The procedure builds on a technology development for plasma-activated high rate evaporation and Pulse Magnetron Sputtering. The physical vapor deposition was carried out in the device ALMA 1000, a drum coating equipment developed by the Fraunhofer Institute for Organic Electronics, Electron Beam and Plasma Technology (FEP). For Corrosion protection, the main application, an aluminum wire is continuously fed to evaporation boats where it is evaporated. For the improvement of mechanical stability and hardness of the aluminum coatings, chromium inter-layers sputter are deposited in an alternating sputtering process. During the deposition of monolayers and multilayers for corrosion protection the main process is the evaporation of aluminum. The parameters the wire feed, plasma activation and the state of the evaporator boats have been varied, to study their influence on the aluminum process and the influence on the deposition rate. Based on the results, a range of stable operation of the evaporator has been defined, that enables reproducible coating process. iii

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Metadaten
Author:Lisa Tengler
Title Additional (German):Untersuchung der Einflussfaktoren auf die Stabilität der plasmaaktivierten Verdampfung von Aluminium in top-down-Anordnung zur Abscheidung von Korrosionsschutzschichten
Advisor:Andreas NeidhardtGND, Heidrun KlostermannGND
Document Type:Master's Thesis
Language:German
Name:Fraunhofer Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik
Fraunhofer FEP, Winterbergstraße 28, 01277 Dredsen, 01277 Dresden
Date of Publication (online):2018/02/22
Year of first Publication:2015
Publishing Institution:Westsächsische Hochschule Zwickau
Date of final exam:2015/08/31
Release Date:2018/02/22
Tag:Aluminium; PVD-Verfahren; Schüttgut; Verdampfen; Verdampferschiffchen
Page Number:58 Seiten, 28 Abb., 11 Tab., 30 Lit.
Faculty:Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik