The search result changed since you submitted your search request. Documents might be displayed in a different sort order.
  • search hit 95 of 821
Back to Result List

Theoretische Beschreibung des Trocknungsverhaltens dicker Photoresistschichten und des beladungsinduzierten Eigenfrequenzshifts von MEMS-Komponenten

Theoretical consideration of drying of thick photoresist layers and load-induced resonance frequency shifts of MEMS components

  • Im ersten Abschnitt dieser Masterarbeit werden theoretische Betrachtungen zum Trocknungsverhalten dicker Photoresistschichten durchgeführt. Nach Konditionierung der vorliegenden Messdaten eines innovativen, gravimetrisch gesteuerten Infrarot-Trocknungssystems werden die Kurvenanpassungen der gewonnen Berechnungsgleichungen durchgeführt. Betrachtungen hinsichtlich verschiedener Trocknungstemperaturen ergeben eine eindeutige, exponentielle Temperaturabhängigkeit des Diffusionskoeffizienten. Zusammenfassend können die gewonnenen analytischen Ansätze zur Beschreibung der diffusionsdominierten Trocknungsphase als geeignet angesehen werden. Im zweiten Abschnitt dieser Masterarbeit wird ein Simulationstool zur analytischen Beschreibung der Eigenfrequenz eines beladenen Cantilevers in der VBA-Programmierumgebung des Softwarepaket MS Excel® entwickelt. Ein Abgleich gemessener und berechneter Eigenfrequenzen zeigen eine äußerst zufriedenstellende Korrelation und damit die Anwendbarkeit des vorgestellten Berechnungstools.

Download full text files

Export metadata

Additional Services

Metadaten
Author:Maik Schönfeld
Advisor:Jürgen Grimm, Hella-Christin Scheer
Document Type:Master's Thesis
Language:German
Name:Westsächsische Hochschule Zwickau
Dr.-Friedrichs-Ring 2A, 08056 Zwickau
Date of Publication (online):2018/02/22
Year of first Publication:2014
Publishing Institution:Westsächsische Hochschule Zwickau
Date of final exam:2014/03/06
Tag:Cantilever; Diffusion; Infrarot; Photoresiste; Trocknung; künstliche Nasen
Page Number:70 Seiten, 41 Abb., 8 Tab., 34 Lit.
Faculty:Westsächsische Hochschule Zwickau / Elektrotechnik
Release Date:2018/02/22