Theoretische Beschreibung des Trocknungsverhaltens dicker Photoresistschichten und des beladungsinduzierten Eigenfrequenzshifts von MEMS-Komponenten
Theoretical consideration of drying of thick photoresist layers and load-induced resonance frequency shifts of MEMS components
- Im ersten Abschnitt dieser Masterarbeit werden theoretische Betrachtungen zum Trocknungsverhalten dicker Photoresistschichten durchgeführt. Nach Konditionierung der vorliegenden Messdaten eines innovativen, gravimetrisch gesteuerten Infrarot-Trocknungssystems werden die Kurvenanpassungen der gewonnen Berechnungsgleichungen durchgeführt. Betrachtungen hinsichtlich verschiedener Trocknungstemperaturen ergeben eine eindeutige, exponentielle Temperaturabhängigkeit des Diffusionskoeffizienten. Zusammenfassend können die gewonnenen analytischen Ansätze zur Beschreibung der diffusionsdominierten Trocknungsphase als geeignet angesehen werden. Im zweiten Abschnitt dieser Masterarbeit wird ein Simulationstool zur analytischen Beschreibung der Eigenfrequenz eines beladenen Cantilevers in der VBA-Programmierumgebung des Softwarepaket MS Excel® entwickelt. Ein Abgleich gemessener und berechneter Eigenfrequenzen zeigen eine äußerst zufriedenstellende Korrelation und damit die Anwendbarkeit des vorgestellten Berechnungstools.
Author: | Maik Schönfeld |
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Advisor: | Jürgen Grimm, Hella-Christin Scheer |
Document Type: | Master's Thesis |
Language: | German |
Name: | Westsächsische Hochschule Zwickau Dr.-Friedrichs-Ring 2A, 08056 Zwickau |
Date of Publication (online): | 2018/02/22 |
Year of first Publication: | 2014 |
Publishing Institution: | Westsächsische Hochschule Zwickau |
Date of final exam: | 2014/03/06 |
Tag: | Cantilever; Diffusion; Infrarot; Photoresiste; Trocknung; künstliche Nasen |
Page Number: | 70 Seiten, 41 Abb., 8 Tab., 34 Lit. |
Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Elektrotechnik |
Release Date: | 2018/02/22 |