Schichtbildung beim Hohlkatodenbogenverdampfen
- Teilchen deutlich ausgeprägt als bei niedrigerem Druck. Die Schichten sind bei großem mittleren Einfallswinkel trotz Auflockerungstendenzen immer noch dicht. Das Schichtgefüge entspricht der Zone T nach Für das Hohlkatodenbogenverdampfen wurde der Einfluß der Bombardements energiereicher Teilchen und der Winkelverhältnisse des Teilcheneinfalls am Substrat auf die Morphologie und die Eigenschaften von Titannitridschichten untersucht. Die vorliegenden Experimente zeigen, daß die Erhöhung der Ionenenergie durch das Anlegen einer Biaspannung eine Verdichtung des Schichtgefüges bewirkt. Weiterhin deuten die Untersuchungen darauf hin, daß die Druckeigenspannungen der Schichten wesentlich durch Rückstoßimplantation von Atomen in die gestörten Bereiche zwischen den einzelnen Säulen und Fasern innerhalb des Schichtgefüges entstehen. Mit wachsendem Schrägeinfall der schichtbildenden Teilchen lockert in Abhängigkeit vom Argondruck die Schicht zunehmend auf. Die Auflockerung ist bei höherem Druck aufgrund der stärkeren Thermalisierung der kondensierenden Thornton. <!-- #h:dissdiplHartstoffbeschichtung.doc# -->