PVD-Beschichtung dreidimensionaler Substrate
- In der Arbeit wurde der Einfluß der Abscheidebedingungen auf die Schichteigenschaften bei der PVD-Beschichtung ausgewählter konkaver und konvexer Substrate untersucht. <!-- #h:dissdiplPVD-Hartstoffbeschichtung.doc# -->
Author: | Ralf Reichelt |
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Advisor: | Andreas NeidhardtGND, Ebersbach |
Document Type: | Diploma Thesis |
Language: | German |
Date of Publication (online): | 2000/09/11 |
Year of first Publication: | 1994 |
Date of final exam: | 1994/08/01 |
GND Keyword: | PVD-Verfahren |
Page Number: | 47 Seiten, 0 Abb., 0 Tab., 19 Lit. |
Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
Release Date: | 2000/09/11 |