PVD-Beschichtung dreidimensionaler Substrate

  • In der Arbeit wurde der Einfluß der Abscheidebedingungen auf die Schichteigenschaften bei der PVD-Beschichtung ausgewählter konkaver und konvexer Substrate untersucht. <!-- #h:dissdiplPVD-Hartstoffbeschichtung.doc# -->

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Metadaten
Author:Ralf Reichelt
Advisor:Andreas NeidhardtGND, Ebersbach
Document Type:Diploma Thesis
Language:German
Date of Publication (online):2000/09/11
Year of first Publication:1994
Date of final exam:1994/08/01
GND Keyword:PVD-Verfahren
Page Number:47 Seiten, 0 Abb., 0 Tab., 19 Lit.
Faculty:Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik
Release Date:2000/09/11