Prozeßregelung bei der reaktiven Bedampfung für Barriereschichten
- Die Arbeit beinhaltet die Prozeßführung bei der Herstellung von Aluminiumoxid-Barriereschichten. Dazu wurde ein Modell der Schichtabscheidung erstellt. <!-- #h:dissdiplBarriereschichten.doc# -->
Author: | Dirk Reinhardt |
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Advisor: | Ullrich Reinhold, M. Rabisch |
Document Type: | Diploma Thesis |
Language: | German |
Date of Publication (online): | 2000/09/11 |
Year of first Publication: | 1998 |
Date of final exam: | 1998/08/20 |
GND Keyword: | Aluminiumoxide; Permeation |
Page Number: | 54 Seiten, 38 Abb., 0 Tab., 15 Lit. |
Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
Release Date: | 2000/09/11 |