Prozeßregelung bei der reaktiven Bedampfung für Barriereschichten

  • Die Arbeit beinhaltet die Prozeßführung bei der Herstellung von Aluminiumoxid-Barriereschichten. Dazu wurde ein Modell der Schichtabscheidung erstellt. <!-- #h:dissdiplBarriereschichten.doc# -->

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Metadaten
Author:Dirk Reinhardt
Advisor:Ullrich Reinhold, M. Rabisch
Document Type:Diploma Thesis
Language:German
Date of Publication (online):2000/09/11
Year of first Publication:1998
Date of final exam:1998/08/20
GND Keyword:Aluminiumoxide; Permeation
Page Number:54 Seiten, 38 Abb., 0 Tab., 15 Lit.
Faculty:Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik
Release Date:2000/09/11