Untersuchungen zur Realisierbarkeit und den charakteristischen Parametern einer Hohlkathodenbogenentladung mit Ringanode
- <UL> <LI>Untersuchungen einer Hohlkathodenbogenentladung mit Ringanode <LI>Optimierung der Anodengeometrie <LI>Betriebsverhalten in einem reaktiven Beschichtungsprozeß <LI>Ermittlung von Plasmaparametern mittels Langmuirsondenmessungen </UL> <!-- #h:dissdiplHohlkatodenbogenentladung.doc# -->
| Author: | Uwe Petermann |
|---|---|
| Advisor: | Ullrich Reinhold, H. Morgner |
| Document Type: | Diploma Thesis |
| Language: | German |
| Date of Publication (online): | 2000/09/11 |
| Year of first Publication: | 1995 |
| Date of final exam: | 1995/08/11 |
| GND Keyword: | Kathodenstrahl; Bogenentladung |
| Page Number: | 49 Seiten, 26 Abb., 3 Tab., 15 Lit. |
| Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
| Release Date: | 2000/09/11 |
