Untersuchungen zur Bestimmung der Schichtdicke und der optischen Konstanten dünner Schichten
- Es wird ein Überblick zu Bestimmungsmethoden der optischen Konstanten und der Schichtdicke eines Einschichtsystems aus spektralphotometrischen Transmissions- und/oder Reflexionsmessungen gegeben. Für transparente und schwach absorbierende Schichten auf transparentem oder schwach absorbierendem Substrat wird ein Formalismus zur Bestimmung der optischen Konstanten und der Schichtdicke beschrieben und die Umsetzung in einem Mathematica - Programm gezeigt. Die Ergebnisse der Überprüfung des Formalismus anhand von simulierten und gemessenen Spektren sind dargestellt. Außerdem ist eine Insitu- Meßanordnung zur spektralen Messung des Transmissions- oder des Reflexionsgrades auf faseroptischer Basis beschrieben. <!-- #h:dissdiplOptische Konstanten.doc# -->