Untersuchungen zum Einsatz tunnelspektroskopischer Meßverfahren zur Charakterisierung von PVD-Chromnitrid-Schichtoberflächen
- Ziel dieser Arbeit war, die Möglichkeiten rastertunnelspektroskopischer Messungen (STS) zur Charakterisierung von mit PVD abgeschiedenen Chromnitridoberflächen zu untersuchen. Dazu mußten zur STS Auswerteverfahren erarbeitet und deren Anwendbarkeit überprüft werden. Auch waren umfangreiche Untersuchungen zur Stabilität des verwendeten Meßsystems und eine damit verbundene Fehleranalyse notwendig. Es wurden weiterhin rastertunnelspektroskopische Messungen an CrN-Schichten und an verschiedenen Referenzproben durchgeführt. <!-- #h:dissdiplRastertunnelspektroskopie.doc# -->
Metadaten| Author: | Peter Sachs |
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| Advisor: | Wieland Zahn, Antje ZöschGND |
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| Document Type: | Diploma Thesis |
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| Language: | German |
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| Date of Publication (online): | 2000/09/11 |
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| Year of first Publication: | 1998 |
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| Date of final exam: | 1998/08/14 |
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| Tag: | Rastertunnelspektroskopie |
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| GND Keyword: | STS <Programm>; PVD-Verfahren; Tunnelspektroskopie |
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| Page Number: | 49 Seiten, 32 Abb., 2 Tab., 20 Lit. |
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| Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
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| Release Date: | 2000/09/11 |
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