Untersuchungen zur Abscheidung von C/C-Nanometer-Multischichten mittels Pulsed Laser Deposition
- Mittels Pulsed Laser Deposition wurden Kohlenstoff-Einzel- und Kohlenstoff/Kohlenstoff-Multischichten hergestellt und mit Hilfe der Röntgenreflektometrie untersucht. Dabei stand die Steigerung des Dichtekontrastes zwischen den Kohlenstoffschichten bei minimierten Einzelschichtdicken im Vordergrund, um die Reflektivität dieser Röntgenoptiken zu erhöhen und die Auflösung zu verbessern.
Metadaten| Author: | Maik Menzel |
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| Advisor: | Wolfgang ZscherpelGND |
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| Document Type: | Diploma Thesis |
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| Language: | German |
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| Date of Publication (online): | 2003/09/29 |
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| Year of first Publication: | 2003 |
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| Date of final exam: | 2003/01/31 |
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| Tag: | Multischichten; PLO; Röntgenreflektometrie |
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| GND Keyword: | Kohlenstoff; Röntgenspiegel |
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| Page Number: | 60 Seiten, 38 Abb., 13 Tab., 28 Lit. |
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| Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
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| Release Date: | 2003/09/29 |
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