Ferndetektion und qualitative Elementanalyse dünner Metallschichten auf Siliziumträgermaterial mittels Laser-Induced Breakdown Spectroscopy (LIBS) durch kurze und ultrakurze Laserpulse
Laser-induced breakdown spectroscopy for stand-off detection and qualitative elemental analysis of thin metal layers using short and ultra short laser pulses.
- Ziel dieser Arbeit war die Konzeption und die Realisierung eines Messaufbaus zur qualitativen Elementanalyse mittels laserinduzierter Plasmaspektroskopie. Die Funktionalität und hohe Empfindlichkeit dieses Messaufbaus wurde anhand von Proben mit ca. 20nm dicken Metallschichten und Einelementproben nachgewiesen. Sowohl die Erzeugung des Plasmas auf der Probe als auch die Detektion und anschließende Analyse des Plasmaleuchtens sollte abstandsbasiert über Entfernungen von ca. 5 m erfolgen. Dazu kamen Kurzpuls
| Author: | Jens Trommer |
|---|---|
| Advisor: | Peter HartmannGND, Wolfgang Riede |
| Document Type: | Diploma Thesis |
| Language: | German |
| Name: | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt, Institut für Technische Physik Pfaffenwaldring 38 - 40, 70569 Stuttgart |
| Date of Publication (online): | 2008/01/22 |
| Year of first Publication: | 2007 |
| Date of final exam: | 2007/09/25 |
| Tag: | DLR/Stuttgart; Elementanalyse; Femtosekunden; Nanosekunden |
| GND Keyword: | Laserinduzierte Breakdown-Spektroskopie; Plasmaspektroskopie; Titan-Saphir-Laser; YAG-Laser; Neodym-YAG-Laser; Laser; Filament |
| Page Number: | 74 Seiten, 35 Abb., 5 Tab., 27 Lit. |
| Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
| Release Date: | 2008/01/22 |
