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Frank Böhm

• Ziel dieser Diplomarbeit ist es, Modellschichten auf der Basis von Chromnitrid die bei unterschiedlichen Beschichtungsparametern in der Westsächsischen Hochschule Zwickau hergestellt wurden mittels EDX- und XPS-Analyse zu untersuchen. Anhand einer repräsentativen mehrfach zu messende Probe sollen die XPS Ergebnisse mit denen der standardfreien und standardbezogenen EDX-Analyse kritisch betrachtet und verglichen werden. Weiterhin soll überprüft werden in wie weit die Ergebnisse der drei analytischen Verfahren vergleichbare und vertrauenswürdige Ergebnisse liefern können. Nach Möglichkeit sollen die Randbedingungen die für vertrauenswürdige Ergebnisse nötig sind genannt werden. Es lassen sich eine Reihe von Teilaufgaben formulieren: In einem ersten Schritt soll sich mit den analytischen Methoden und ihrer Leistungsfähigkeit hinsichtlich der Schichtcharakterisierung der Elektronenstrahl-Mikroanalyse und der Photoelektronenspektroskopie vertraut gemacht werden. Anschließend soll bei den zur Verfügung stehenden Systemeinstellungen für jede zu untersuchende Probe eine qualitative Elektronenstrahl- Mikroanalyse erfolgen und das dazugehörige EDX-Spektrum aufgezeichnet werden. Danach werden die EDX-Spektren mittels standardfreier- und standardbezogener Elementanalyse ausgewertet. Diese Ergebnisse der beiden Mikroanalyseverfahren sollen miteinander kritisch verglichen werden. Anhand der repräsentativen Probe sollen mögliche Randbedingungen für vertrauenswürdige Ergebnisse aufgezeigt werden. Ein weiterer Schritt ist die Photoelektronenspektroskopie in Verbindung mit einer qualitativen und quantitativen Analyse. Anschließend soll eine Tiefenprofilanalyse für ausgewählte Proben und der relevanten Probe erfolgen. Die erhaltenen Daten sollen mit denen der EDX-Analysen verglichen werden und anhand der repräsentablen Probe sollen Randbedingungen für eine vergleichbarkeit der drei Analyseverfahren aufgezeigt werden.