EBSD zur struktur- und materialspezifischen Oberflächen- und Schichtuntersuchung mit der Option zur tomographischen Informationsgewinnung

Structure and material specific surface and layer analysis with EBSD with the option to acquire informations by tomography

  • Electron Backscatter Diffraction (EBSD) ist ein in Verbindung mit der Raster-Elektronen-Mikroskopie (REM) zugängliches Verfahren, bei dem lokal über dem jeweils mit dem Elektronenstrahl angesteuerten Punkt auf der Probenoberfläche Elektronen-Beugungsmuster gewonnen werden. Aus diesen Elektronen-Beugungsmustern ist es möglich Erkenntnisse zur kristallinen Struktur des Festkörpers zu erhalten. Um Tiefeninformationen zur kristallinen Struktur zu gewinnen, ist es notwendig die Probe Schicht für Schicht abzutragen und mittels EBSD zu untersuchen. Fragen zur Problematik der Schichtabtragsmessung wurden erörtert. Es erfolgte eine Untersuchung verschiedener Verfahren auf ihre Handhabung sowie Messunsicherheit (s. Kapitel 5). Die Qualität einer EBSD-Messung ist abhängig von der Probenpräparation sowie den Parametereinstellungen der verwendeten Messtechnik. Es erfolgte eine Optimierung dieser beiden Punkte (s.Kapitel 4, 6, 7). Untersuchungen mittels EBSD wurden durchgeführt. Durch die erhaltenen Informationen wurde versucht Rückschlüsse auf das Kristallwachstum zu ziehen. Als Ergebnis der vorliegenden Untersuchungen konnte gezeigt werden, dass die Orientierung einer kristallinen Phase über ein großes Volumen und somit entsprechend viele Schichten konstant ist.
  • EBSD allows you to discover information about crystals and their structure. To get informations from the depth of the sample it is necessary to to metal removal. Different ways for measuring metal removal were discussed. The quality of EBSD-analysis depends on the sample preparation and the parameters for the measurement technology. These points had to be optimized. The acquired EBSD-informations from different layers of one crystallic structure had been compared. They show that the orientation of the crystallic phases in one crystallic structure are equal to each other.

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Metadaten
Author:Raik Jelitzki
Advisor:Michael Hietschold
Document Type:Diploma Thesis
Language:German
Name:TU Chemnitz, Institut für Physik, Analytik an Festkörperoberflächen
Reichenhainer Str. 70, 09107 Chemnitz
Date of Publication (online):2008/05/27
Year of first Publication:2008
Date of final exam:2008/05/02
Tag:EBSD; Schichtabtragsmessung; kristalline Strukturen
Page Number:84 Seiten, 66 Abb., 5 Tab., 54 Lit.
Faculty:Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik
Release Date:2008/05/27