Aufbau und Test eines Absorptionsmessplatzes für Laserstrahlung mit den Wellenlängen 193nm und 157nm

  • Absorptionsmessung zur Qualitätssicherung an optischen Bauelementen im DUV/VUV Bereich.

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Metadaten
Author:Mark Wünsche
Advisor:Peter HartmannGND
Document Type:Diploma Thesis
Language:German
Name:3D-Micromac AG
Annaberger Strasse 240, 09125 Chemnitz
Date of Publication (online):2008/05/27
Year of first Publication:2008
Date of final exam:2008/05/08
Tag:Absorptionsmessung; DUV/VUV; Kalorimeter; Laser
Page Number:39 Seiten, 29 Abb., - Tab., 22 Lit.
Faculty:Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik
Release Date:2008/05/27