Aufbau und Test eines Absorptionsmessplatzes für Laserstrahlung mit den Wellenlängen 193nm und 157nm
- Absorptionsmessung zur Qualitätssicherung an optischen Bauelementen im DUV/VUV Bereich.
Author: | Mark Wünsche |
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Advisor: | Peter HartmannGND |
Document Type: | Diploma Thesis |
Language: | German |
Name: | 3D-Micromac AG Annaberger Strasse 240, 09125 Chemnitz |
Date of Publication (online): | 2008/05/27 |
Year of first Publication: | 2008 |
Date of final exam: | 2008/05/08 |
Tag: | Absorptionsmessung; DUV/VUV; Kalorimeter; Laser |
Page Number: | 39 Seiten, 29 Abb., - Tab., 22 Lit. |
Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
Release Date: | 2008/05/27 |