Auswahl, Umsetzung und Erprobung eines geeigneten Verfahrens zur direkten oder indirekten Volumenstrom-Messung des flüssigen Anteils eines Zweiphasen-Stickstoffgemisches

  • In Handhabungsautomaten (Handler) für die Qualitätssicherung bei der Halbleiterherstellung wird zur Temperierung der Prüfkammer flüssiger Stickstoff verwendet, der meistens aus isolierten Druckfässern stammt. Um die Temperatur in der Prüfkammer konstant zu halten, wird die Verdampfungsenergie des flüssigen Stickstoffes benötigt. Darum ist es notwendig, dass die Versorgung des Handlers mit ausreichend flüssigem Stickstoff gewährleistet ist. Sobald das Fass leer wird, steigt der Anteil des gasförmigen Stickstoffs an bzw. der Gesamtdruck des Gas-Flüssigkeits-Gemisches sinkt und und ein Faswechsel wird notwendig. Bisher gibt es keine Methode, die diesen Zustand zuverlässig erkennt, da die einfach zu messenden Größen wie Temperatur oder statischer Druck sich dabei nur geringfügig ändern oder aber stark schwanken. Ziel ist nun ein geeignetes Verfahren zu entwickeln, mit dem Zuverlässig erkannt wird, wann die Versorgung mit flüssigem Stickstoff unter einen bestimmten Grenzwert gefallen ist.

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Metadaten
Author:Martin Bauer
Advisor:Helmut EichertGND, Lutz KrauseGND
Document Type:Diploma Thesis
Language:German
Name:Multitest Elektronische Systeme GembH
Aüßere Oberaustraße 4, 83022 Rosenheim
Date of Publication (online):2008/06/18
Year of first Publication:2008
Date of final exam:2008/06/17
Tag:Stickstoff; Verdampfung
Page Number:96 Seiten, 52 Abb., 12 Tab., 6 Lit.
Faculty:Westsächsische Hochschule Zwickau / Maschinenbau und Kraftfahrzeugtechnik (bis 2018)
Release Date:2008/06/18