Bestimmung der Neutralgastemperatur im Plasma Bulk eines Plasmaätzreaktors
- Ziel der vorliegenden Arbeit ist die Bestimmung der Neutralgastemperatur mittels hochauflösender optischer Emissionsspektroskopie in einem modernen CCP Plasmaätzreaktor zur Fertigung höchstintegrierter Speicherbauelemente. Die Neutralgastemperatur wurde dabei aus dopplerverbreiterten Linienprofilen der Ha- und der Hß-Linie der Balmerserie von atomarem Wasserstoff bestimmt. Es wurden Neutralgastemperaturen im Bereich von 1200 K bis 2500 K ermittelt, die die aus der Literatur bekannten Abschätzungen und Messungen der Neutralgastemperaturen in CCP Reaktoren bestätigen. Die sich einstellenden Neutralgastemperaturen wurden auf ihre Abhängigkeiten von folgenden Prozess- und Anlagenparametern experimentell untersucht, insbesondere: RF-Leistung, Druck, magnetische Flussdichte, Gasgemisch und Wafermaterial.
Author: | Sven Barth |
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Advisor: | Gunter Krautheim, Andreas Steinbach |
Document Type: | Diploma Thesis |
Language: | German |
Name: | Qimonda Dresden GmbH & Co. OHG Königsbrücker Str. 180, 01099 Dresden |
Date of Publication (online): | 2008/06/25 |
Year of first Publication: | 2007 |
Date of final exam: | 2007/12/29 |
Tag: | CCP; Neutralgastemperatur |
GND Keyword: | Hochfrequenzplasma; Plasmaätzen; Kaltes Plasma; Plasma; Temperatur; Doppler-Verbreiterung; Doppler-Effekt; Atomemissionsspektroskopie; VI |
Page Number: | 59 Seiten, 17 Abb., 3 Tab., 15 Lit. |
Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
Release Date: | 2008/06/25 |