Intergration eines in situ Photospektrometers und Bewertung der Ergebnisse im Vergleich zu einem Offline Messsystem
Integration of an in situ Photospectrometer and validation of the results in analogy to an offline messuring system
- Bewertung eines Spektrometeraufbaus in Bezug auf die Messung von Interferenzschichten und -schichtsystemen im Vakuum. Mit Fokus auf die Messung und Kontrolle eines Schichtsystems bei der Messung zwischen den Einzelschichten. Der Messaufbau ist auf die Verursacher von systematischen Fehlern und deren Korrekturmöglichkeiten hin untersucht.
| Author: | Sebastian Dominok |
|---|---|
| Advisor: | R. Nyderle, Ullrich Reinhold |
| Document Type: | Diploma Thesis |
| Language: | German |
| Name: | Fraunhofer Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik Winterbergstrasse 28, 01277 Dresden |
| Date of Publication (online): | 2009/11/19 |
| Year of first Publication: | 2009 |
| Date of final exam: | 2009/03/03 |
| Tag: | Automatisierung; Glasfaser; Glättung; Schichtsystem |
| GND Keyword: | Spektrometer; CCD-Sensor; In situ; Reaktives Sputtern; Sputtern; Interferenzfilter |
| Page Number: | 42 Seiten, 30 Abb., 11 Tab., 7 Lit. |
| Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
| Release Date: | 2009/11/19 |
