Entwicklung einer neuen ICP-Quelle zur homogenen Bearbeitung von großflächigen Substraten
- Dimensionierung, Aufbau, Inbetriebnahme und Sondenmessungen an einer ICP-Quelle mit Ferriten
Author: | Daniel Zimmer |
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Title Additional (German): | Entwicklung einer neuen ICP-Quelle zur homogenen Bearbeitung von großflächigen Substraten |
Advisor: | D. Rost, Gunter Krautheim |
Document Type: | Diploma Thesis |
Language: | German |
Name: | Roth & Rau AG Gewerbering 3, 09337 Hohenstein-Ernstthal |
Date of Publication (online): | 2009/11/19 |
Year of first Publication: | 2009 |
Date of final exam: | 2009/08/26 |
Page Number: | 54 Seiten, 22 Abb., 6 Tab., 36 Lit. |
Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
Release Date: | 2009/11/19 |