Untersuchung zur Effizienzsteigerung des Imidprozesses hinsichtlich Prozessdauer, -stabilität und -kosten
- Die vorliegende Diplomarbeit beschäftigt sich mit dem Polyimidprozess bei Infineon Technologies Dresden. Bedingt durch Materialeigenschaften sind bei diesem Prozess Randbedingungen einzuhalten, die sich von der Verarbeitung der Standardfotolacke unterscheiden. Im Rahmen dieser Arbeit wurden die Einzelschritte des Prozesses analysiert und fünf Schwerpunkte benannt, bei denen ein Potential zur Steigerung der Effizienz bzgl. der Prozessdauer und -kosten sowie der Effektivität bei der Realisierung eines hohen Qualitätsniveaus der Wafer besteht. Es erfolgten Untersuchungen, im Rahmen derer die gewünschten Verbesserungen für vier Schwerpunkte vollständig und für einen Schwerpunkt teilweise umgesetzt werden konnten. Die erhaltenen Ergebnisse wurden beschrieben und diskutiert. Für einige der beobachteten Fehlerbilder entstanden Theorien zum zugrunde liegenden Mechanismus.
| Author: | Jens Seyfert |
|---|---|
| Advisor: | Christel Reinhold, Anja Hennig |
| Document Type: | Diploma Thesis |
| Language: | German |
| Name: | Infineon Technologies Dresden GmbH Königsbrücker Straße 180, 01099 Dresden |
| Date of Publication (online): | 2009/11/19 |
| Year of first Publication: | 2009 |
| Date of final exam: | 2009/11/04 |
| GND Keyword: | Imide; Halbleiter; Passivierung |
| Page Number: | 72 Seiten, 58 Abb., 11 Tab., 15 Lit. |
| Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
| Release Date: | 2009/11/19 |
