Erarbeitung und Erprobung eines Messregimes für den Funktionstest mikromechanischer kapazitiver Drehratensensoren
development and testing a measurement procedure for a micro mechanical capacitive gyroscope functiontest
- Die generelle Charakterisierung zweier unterschiedlicher mikromechanischer Schwinger-strukturen liegt im Schwerpunkt dieser Arbeit. Dazu gehört die Auswahl und Vorstellung geeigneter Messverfahren, Messungen diverser Kenngrößen für die Bestätigung der zu erwartenden theoretischen Werte, sowie weitere Charakterisierung bei zu erwartenden Proble-men. Die Auswertung bezieht sich dabei hauptsächlich auf Genauigkeit, Reproduzierbarkeit und Beeinflussung der Ergebnisse durch die Messbedin-gungen für die spätere Anwendung, sowie für Detaillösungen für veränderte oder weitere Sensorendesigns.
| Author: | Enrico Helbig |
|---|---|
| Advisor: | Jürgen Grimm, Karla HillerGND |
| Document Type: | Diploma Thesis |
| Language: | German |
| Name: | Fraunhofer Gesellschaft ENAS Technolgie-Campus 3, 09126 Chemnitz |
| Date of Publication (online): | 2010/01/15 |
| Year of first Publication: | 2010 |
| Date of final exam: | 2010/01/04 |
| Tag: | Lock-In-Verstärker; Trägerfrequenzmessverfahren; in-plane; out-of-plane; überkoppeln gyroscope; micro mechanical |
| GND Keyword: | Mikromechanik; Gyroskop; Elektrostatik |
| Page Number: | 87 Seiten, 89 Abb., - Tab., 20 Lit. |
| Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Elektrotechnik |
| Release Date: | 2010/01/15 |
