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Markus Ballmann

• Die vorliegende Arbeit befasst sich mit der Entwicklung eines Vakuumhandlingsystems für Solarzellen, welches in ein bestehendes Anlagenkonzept integriert werden soll. Aufgabe dieses Handlingsystems ist es, die Substratbestückung einer Plasmaprozesskammer in einer seriennahen Pilotanlage für die Solarzellenfertigung zu realisieren. Nach der Betrachtung der nötigen physikalischen Grundlagen erfolgt die Analyse der Randbedingungen und der Anforderungen an das Handlingsystem. Auf deren Basis werden verschiedene Lösungsvarianten entwickelt, bewertet und eine Variante als günstigste ausgewählt. Anschließend erfolgt die konstruktive Umsetzung der Vorzugsvariante. Hierfür wird das Handlingsystem in Funktionsbaugruppen zerlegt, um eine systematische Gestaltung der Teilfunktionen zu erleichtern. Ergebnis der Untersuchungen ist ein funktionsfähiger konstruktiver Entwurf des Handlingsystems, wobei die Randbedingungen eingehalten und die gestellten Anforderungen erfüllt werden. Er beinhaltet neben den erforderlichen Berechnungen die Zusammenbauzeichnungen der Gesamtkonstruktion und die Stückliste.
• This paper contains the development of a vacuum handling system for solar cells, which is to be integrated into an existing tool concept. The task of the system is the placement of substrates in a plasma process chamber, which is part of a pilot tool for manufacturing solar cells. After explaining the physical background the boundary conditions and requirements are analyzed. Based on that analysis different versions of the handling system are developed and evaluated and a preferred version is chosen. Afterwards the constructive realization is done. For this the assembly is divided into subassemblies in order to ease the systematical design of the sub-functions. The result of the study is a constructive layout of the handling system which fulfills the given boundary conditions and requirements. Besides the necessary calculations it contains the assembly drawings and the parts list.