Herstellung und Charakterisierung von dünnen Nb2O5-Schichten und Plasmauntersuchung während d. reaktiven RLVIP-Prozess
- In dieser Diplomarbeit wurden die opt. (Brechwert n550 ) opt. Absorptionskoeffizient k515) und die mech. Eigenschaft (Schichtspannungen) von RLVIP-Nb2O5
| Author: | Antja Hallbauer |
|---|---|
| Advisor: | Andreas NeidhardtGND, Hans K. PulkerGND |
| Document Type: | Diploma Thesis |
| Language: | German |
| Name: | Universität Innsbruck Christoph-Probst-Platz Innrain 52, 6020 Innsbruck |
| Date of Publication (online): | 2010/09/06 |
| Year of first Publication: | 2005 |
| Date of final exam: | 2005/01/27 |
| Tag: | Ionenplattieren; Laugumisonde; Plasmauntersuchung; dünne Schichten |
| Page Number: | 54 Seiten, 35 Abb., 2 Tab., 26 Lit. |
| Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
| Release Date: | 2010/09/06 |
