Adaptierung und Optimierung eines Arc-Source-Prozesses für den industriellen Einsatz

  • Diese Diplomarbeit befasst sich mit der Adaptierung und der Prozessoptimierung einer selbst durch die Fa.

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Metadaten
Author:Thomas Georgi
Advisor:Ullrich Reinhold, Hans K. PulkerGND
Document Type:Diploma Thesis
Language:German
Name:PhysTech Coating Technology GmbH
Knappenweg 34, 6600 Pflach
Date of Publication (online):2010/09/06
Year of first Publication:2006
Date of final exam:2006/03/29
Tag:Arc; Lichtbogen; PVD; Plasma; Prozessparameter; Substrathalter; TiN; Vakuum
Page Number:61 Seiten, 27 Abb., 5 Tab., 33 Lit.
Faculty:Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik
Release Date:2010/09/06