Adaptierung und Optimierung eines Arc-Source-Prozesses für den industriellen Einsatz
- Diese Diplomarbeit befasst sich mit der Adaptierung und der Prozessoptimierung einer selbst durch die Fa.
Author: | Thomas Georgi |
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Advisor: | Ullrich Reinhold, Hans K. PulkerGND |
Document Type: | Diploma Thesis |
Language: | German |
Name: | PhysTech Coating Technology GmbH Knappenweg 34, 6600 Pflach |
Date of Publication (online): | 2010/09/06 |
Year of first Publication: | 2006 |
Date of final exam: | 2006/03/29 |
Tag: | Arc; Lichtbogen; PVD; Plasma; Prozessparameter; Substrathalter; TiN; Vakuum |
Page Number: | 61 Seiten, 27 Abb., 5 Tab., 33 Lit. |
Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
Release Date: | 2010/09/06 |