Optimierung des LP-TEOS Prozesses mittels Verwendung eines optimierten Liner-Maßes
- In dieser Arbeit soll die Umstellung einer LPCVD-Anlage in Verbindung mit einem neuen Linertypen untersucht werden. So wird die derzeitige SiO-Abscheidung mittels Tetraethylorthosilicat (TEOS) auf 6
| Author: | Maik Leßke |
|---|---|
| Advisor: | Andreas Amrell |
| Document Type: | Bachelor Thesis |
| Language: | German |
| Name: | X-FAB Dresden GmbH & Co. KG Grenzstraße 28, 01911 Dresden |
| Date of Publication (online): | 2010/09/06 |
| Year of first Publication: | 2010 |
| Publishing Institution: | Westsächsische Hochschule Zwickau |
| Date of final exam: | 2010/03/22 |
| GND Keyword: | Tetraethylsilicat <Tetraethylorthosilicat>; LPCVD-Verfahren |
| Page Number: | 43 Seiten, 31 Abb., 3 Tab., 11 Lit. |
| Faculty: | Westsächsische Hochschule Zwickau / Physikalische Technik, Informatik |
| Release Date: | 2010/09/06 |
