Open Access

Erik Müller

• In der vorliegenden Arbeit wurde versucht die Abscheidung aluminiumdotierter Zinkoxidschichten auf flexiblen Substraten hinsichtlich deren elektrischer Leitfähigkeit und optischer Transmission für den Einsatz auf Dünnschichtsolarzellen zu verbessern. Dazu wurde das normalerweise eingesetzte Verfahren des Gleichstromsputterns durch das HF-überlagerte Pulssputtern ersetzt. Das Hauptaugenmerk lag im Finden optimaler Leistungskombinationen und Pulsparameter. Der Zusammenhang zwischen den bei der Abscheidung herrschenden Bedingungen und den daraus resultierenden Schichteigenschaften wurde durch umfangreiche Analysemethoden, wie z.B. Röntgendiffraktometrie und Hall-Messungen sowie durch Plasmacharakterisierung mittels Langmuir-Sonde geklärt. Weiterhin wurde der Einfluss einer Abscheidung in reduzierender Wasserstoffatmosphäre auf die Schichteigenschaften untersucht.
• This paper deals with the improvement of the deposition process of aluminium doped zinc oxide films on flexible substrats to obtain better electrical conductivity and optical transmissionfor thin film solar cell applications. Therefore the commonly used DC-sputtering process was replaced by RF-superimposed pulsed DC sputtering. The main focus was on locating optimal power mixture and best pulse parameters. By using extensive thin film analysis like X-Ray diffraction and Hall measurements on the one hand and Langmuir probe measurements on the other hand the interrelationship between deposition conditions and film characteristics could be clarified. Moreover the impact of the deposition in a hydrogen containing atmosphere on the film properties was examined.